无油涡旋真空泵
无油涡旋真空泵:
1.无油涡旋真空泵性能优越
无油涡旋真空泵的首要优点首要包括:
①.密封性杰出,没有向机械泵那样子直接连接吸、排气腔的泄漏通道,容易密封,容易达到较高的真空度。
②.回转半径小,动静涡旋盘相对滑动速度仅为旋片真空泵的1/7左右,动静涡旋盘之间的动密封相对容易,有利于延长泵的施用生存的年限。
③压缩进程必较缓慢,有二个或者3个压缩过程同时进行,压缩腔相对曲轴对称,这样泵的运转过程平稳、驱动力矩和气体冲击颠簸小,使泵的噪音和振动降低。
总而言之,无油涡旋真空泵结构简单、具有较高的压缩比,在较宽的压力范围内有稳定的抽速,工作压力范围宽;动静涡旋盘之间间隙小、泄漏少,因为压缩腔容量的变化是连续的,因而驱动扭矩变化小,功率变化小,振动噪声低,可靠性高。这是其它类型的干式真空泵所不具备的。
2.无油涡旋真空泵解决了污染与振动等基础、共性问题
因为普通旋片油泵的漏油、噪声、返油污染、高能耗以及振动等问题给用户造成不良影响,如生物制剂行业与半导体行业的油蒸汽污染与工艺体系返油问题。真空镀膜设备的镀膜工艺中,在20～40Pa真空条件下镀膜时,如果应用普通旋片机械真空泵作为前级真空泵将对镀膜工艺设备造成污染,影响成膜质量。
半导体晶片制造工艺当中施用油泵与施用于泵相比,成品率存在较着的差距,并且排出的油雾蒸汽对环境也有污染.科学仪器行业尤其是在分析试验仪器行业,采用油泵对试验结果将造成不良影响。大型同步辐射光束线上采用无油涡旋真空泵作为前级真空泵的作用也相当较着。别的无油涡旋真空泵消除开普通油泵的漏油给用户带来的环境污染与烦恼。现存无油涡旋真空泵用户的施用情况也证了然这种泵的优越性和可靠性。
3.无油涡旋真空泵使体系制造与运行成本降低
为防止普通旋片油真空泵对真空体系的返油污染,需要在抽气体系中加冷阱捕获油分子;体系运行过程中还需要定期清洗除油;有的需要定期改换真空泵油.采用无油涡旋真空泵第一部需要加冷阱之类捕油机构、第二不需要改换真空泵油、第三振动更小、运行更平稳、第四能耗降低、第五重量更轻、第六冲破了油泵施用范围的限定。这些优点使无油涡旋真空泵成为普通旋片油真空泵的更新换代产品。
无油涡旋真空泵首要由5个部件组成:
①.动静涡旋盘赋予基座;
②.曲轴;
③.密封垫;
④.防自转机构;
⑤.电机。
无油涡旋真空泵的涡旋盘就是一个一端与一个最简单的面相接的一个或几个渐开线螺旋形成的一个涡旋型盘状结构体。一个静涡旋盘与一个动涡旋盘相互交叉组装在一路,二者之间由防自转机构保证180。相位差,这样结合组成的一对涡旋盘付构成了无油涡旋真空泵的基本抽气机构。静涡旋盘与动涡旋盘彼此之间在几条直线(即横截面涡旋线上的几个点)上接触形成对称的几对月牙腔,动涡旋盘在曲轴的驱动下绕静涡旋盘的涡旋体中心运动,使静涡旋盘与动涡旋盘的接触点沿涡旋曲面移动实现吸气、压缩与排气。例如在双级无油涡旋真空泵中,有两个方向对应的静涡旋盘,一个位于两个涡旋盘之间的动涡旋盘。动、静涡旋盘相对运动形成容量不断变化的新月形真空腔使气体从抽气口吸人、排气口排出,完成吸气、压缩、排气的循环。曲轴每一转一转,就有一组新的月牙腔形成,所以无油涡旋真空泵的吸气、压缩、排气循环以近1500转/分的频率被连续重复,对被抽气体形成包容和强制输送。
众所周知,无油涡旋真空泵(Oil free scrloo vacuum pump)与普通油真空泵相比具有显著的特点。底下以普通旋片真空泵为例,申明其差别:
表1 无油涡旋真空泵与普通直联式旋片真空泵技能指标的对比
技能指标
旋片式油真空泵
涡旋无油真空泵
抽速( 1/s )
2.0 , 4.0 , 8.0
2.0 , 4.4 , 8.7
极限真空度( pa )
0.6
1.0
施用生存的年限 (h)
40000
40000
大修间隔( h )
8000
8000
冷却介质
油
空气
噪声( dB )
75
60
质量( kg )
70
41
电机
相数
3/1
1
电压 (V)
220/380
220
功率 (KW)
1.1
0.6
转数 (r/min)
1400
1437
技能指标
旋片式油真空泵
涡旋无油真空泵
抽速( 1/s )
2.0 , 4.0 , 8.0
2.0 , 4.4 , 8.7
极限真空度( pa )
0.6
1.0
施用生存的年限 (h)
40000
40000
大修间隔( h )
8000
8000
冷却介质
油
空气
噪声( dB )
75
60
质量( kg )
70
41
电机
相数
3/1
1
电压 (V)
220/380
220
功率 (KW)
1.1
0.6
转数 (r/min)
1400
1437
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