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真空泵技术南海高品质真空泵

Posted by pump 2011年11月11日

罗茨真空泵是一种扭转式容积真空泵。其结构形式是由罗茨鼓风机演变而来的。它于1944年起首浮现于德国,是为顺应在10 ~ 1000Pa 压力范围内具有大抽速的真空熔炼系统而作为机械增压泵使用。

2、分类:根据罗茨真空泵工作压力范围的不同,分为:

(1)、直排大气的低真空罗茨泵;

(2)、中真空罗茨泵 ( 机械增压泵 );

(3)、高真空多级罗茨泵。

国内用量最多的为中真空罗茨泵。

二、罗茨真空泵的特点:与其他油封式真空泵相比有以下特点:

1、在较宽的压力范围内有较大的抽速;

2、转子具有良好的几何对称性,故振动小,运转平稳。转子间及转子和壳体 间均有间隙,不用润滑,磨擦损失小,可大大降低驱动功率,从而可使成为事实较高转速;

3、泵腔内无需用油密封和润滑,可减少油蒸气 目前,国内真空行业使用的大多数机械真空泵都是用油、水或其他聚合物等流体充当泵的工作介质,在泵内起冷却、密封、润滑等多种作用。跟着科学技术的发展和真空应用领域的扩大,原有的机械真空泵及其组成的抽气系统浮现了两个问题:一是泵的工作介质返流污染被抽容器,而这种返流在很多情况下影响产品的质量、数量,增加设备的维护成本。其次,由于某些工艺过程中的反应物质使真空泵内的介质严重变质,使泵不能正常工作。而使用适当型式的干式机械真空泵,则可以达到理想的使用效果。

干式机械真空泵的应用首要有以下几个方面:一是低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;二是半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;三是在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵;四是用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。

在日本,半导体行业已全部用干式机械真空泵取代油封式机械泵,欧美半导体行业45%以上用干式机械真空泵取代了油封式机械泵,大大提高了产品的性能和质量。据统计,目前国内干式机械真空泵的应用还不足1%,国内半导体工业用的干式机械真空泵全部从外洋进口,其价格十分昂贵。跟着全球半导体工业逐渐向国内转移,对干式机械真空泵的需求将呈增长的趋势对真空系统的污染;

四、泵腔内无压缩,无排气阀。结构简略、紧凑,对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感;

5、压缩比较低,对氢气抽气效果差;

6、转子表面为形状较为复杂的曲线柱面,加工和检查比较困难。罗茨真空泵近几年在国内外得到较快的发展。在冶炼、石油化工、电工、电子等行业得到了广泛的应用。

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